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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片/刷洗機
玻璃基板CMP
TPP-1310

人工將載板放到上下料工作臺上，通過上下料工作臺將載板放到上拋光盤上，然后進行自動拋光，機臺配置摩擦力終點檢測，可自動拋光至目標值才停止。

  • 晶圓尺寸

    515*510mm / 600*600mm

  • 拋光頭數量

    1 個

  • 拋光頭直徑

    OD930 mm

  • 拋光盤直徑

    OD1300 mm

    • Features
    產品特點
    終點檢測
    配備先進的高精度EPD監測功能
    分區加壓
    優化壓力分布，確保拋光均勻性
    兼容性好
    設備可兼容不同尺寸的基板
    半自動上下料
    獨創輕接觸上下料系統，避免損傷
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