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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片/刷洗機
金剛石拋光機
TGP-1040/1540 series
該設備是專門針對金剛石材料開發的拋光設備，具備單軸多工位，拋光盤具備高轉速、擺動運行等特點，真空吸附&夾具雙重固定金剛石襯底，滿足金剛石材料的高速拋光需求。
  • 拋光盤規格

    OD400 mm

  • 拋光頭數量

    4個

  • 拋光頭尺寸

    2-4英寸

  • 拋光盤轉速

    0-1500 RPM

    • Features
    產品特點
    超高轉速
    拋光盤超高轉速拋光
    加壓方式
    氣缸加壓 壓力控制精準
    驅動形式
    拋光頭主動旋轉 拋光盤擺動旋轉
    恒溫控制
    拋光盤/拋光頭溫度控制系統
    兼容性好
    最大可加工6英寸晶圓
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