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后清洗機結構：

1個腔體；雙面刷洗機構（擺臂式）；兆聲清洗+甩干+N₂吹干機構（擺臂式）
雙面刷洗機構：清洗液: DIW or 專用清洗液；清洗液供給 : 噴嘴（2路獨立供液）清洗液、DIW流量可調；刷子類型 : 兩個 PVA 刷子；刷子位置間隙調整：手動可調；轉速: Max. 200 rpm；刷子尺寸：LxI.DxO.D = 170x31x70 mm；配置12英寸工裝套件，可支持12英寸晶圓刷洗；兆聲清洗+甩干+N₂吹干機構；甩干轉速 : Max 2,000 rpm；DIW 沖洗, N₂吹干；配置兆聲波噴頭
控制系統：
PLC控制系統+觸摸屏；手動loading、unloading；