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半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)適用于2-12英寸晶圓及特殊規(guī)格材料的研削，采用手動(dòng)裝片方式，操作簡(jiǎn)單、功能豐富，單、雙軸加工可選用，雙軸使用時(shí)，產(chǎn)品粗磨后自動(dòng)移動(dòng)至精磨位置研削，配置自動(dòng)測(cè)厚和補(bǔ)償系統(tǒng)提升設(shè)備研削精度。工作臺(tái)可根據(jù)客戶需求定制，性能優(yōu)異，應(yīng)用廣泛。