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單面拋光機
TAP-500/600 Dual series
該系列拋光機是雙拋光盤的高精密單面拋光設備,可實現四軸同時加工,設備可依據不同晶圓配置相應拋光頭,真空吸附固定晶圓,氣囊加壓,拋光壓頭自轉并兼具擺動,適用于各種半導體材料的拋光。
TAP-500 Dual
TAP-600 Dual
晶圓尺寸
6英寸
拋光盤規格
OD520 mm
拋光盤數量
2個
拋光頭數量
4個
產品咨詢
Features
產品特點
兼容性好
最大可加工8英寸晶圓
加壓方式
真空吸附固定晶圓 氣囊加壓
驅動形式
可實現雙盤4拋光頭同時加工
清洗功能
浸沒超聲清洗 壓頭反吹水自清洗
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